實驗室氣路的布線

1．氣瓶間內壓力調節面板與實驗室內的氣路終端之間選用SS316LBA管進行連接，管道內表面光潔度為Ra<0.4umBA級管道。

2．4N氮氣主管線采用OD3/8”（6.35mm）的管道，0.5Mpa壓力下流量可達8M3/小時，完全滿足常規用氣需求，支線采用OD1/4”（6.35mm）的管道。用焊接三通分出支路來對設備進行供氣。

3．5N氮氣、氦氣、預留氣主管線采用OD1/4”（6.35mm）的管道，支線采用OD1/4”（6.35mm）的管道。用焊接三通分出支路來對設備進行供氣。

4．管道穿過障礙物時須使用管套并采用不可燃材料填充間隙。

5．管道之間采用最先進的美國全自動定位軌道式氬弧焊機進行內外保護氬弧焊（TIG）方式連接，其優點是泄漏率可到1X10-9s.c.c./sec.He,且不會再內表面產生氧化層或褶皺等焊接缺陷。

6．管路上的三通全部采用焊接三通來實現連接，可更有效保證氣體的傳輸質量。

7．管道需用固定卡具固定在管道支架上。管道支架為槽鋼結構美觀大方。與墻體和管道固定牢固。且為耐火材料（鋁合金）制成。

8．氣體管路在鋪設過程中要做到橫平豎直，為保證管道走線的直線度和管道間的間距，每間隔一定距離應設置一組管卡。卡具應由不燃材料制作而成，美觀大方。

9．應盡量減少彎曲以防止被傳輸的氣體壓力、流量損失過大。壓力管道拐彎應力集中區應有安全加固，設計合適的拐彎半徑，彎曲部位不能有皺折及扭曲。彎曲半徑和彎曲質量由專用工具保證。系統布線應盡量減少接縫以降低泄漏的可能性。

10．配管時的每根管道每個管件均要用高壓的5N高純氮氣進行吹掃才能接入系統，整個系統安裝完畢后還要用5N的高純氮進行大流量氣體吹掃，以確保系統的潔凈度即流出的氣體無油脂及明顯的固體顆粒物流出。

11．系統安裝完畢后要用高純氮氣進行高壓部分、低壓部分氣密性實驗，對整個系統進行檢測。

12．壓力調節面板和氣路控制終端上粘貼氣路編號、氣體種類、濃度等標識。